అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా సిరామిక్ వేఫర్ పాలిషింగ్ ప్లేట్ అంటే ఏమిటి?

సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ వేగంగా అభివృద్ధి చెందడంతో, ఈ పరిశ్రమ పరిమాణం కూడా వేగంగా పెరిగింది. సెమీకండక్టర్ తయారీ పరికరాలు కూడా ఖచ్చితత్వం మరియు సంక్లిష్టతతో నిరంతరం అభివృద్ధి చెందుతున్నాయి. సిరామిక్స్‌కు అధిక కాఠిన్యం, అధిక స్థితిస్థాపక గుణకం, అధిక అరుగుదల నిరోధకత, అధిక ఇన్సులేషన్, తుప్పు నిరోధకత, తక్కువ వ్యాకోచం వంటి ప్రయోజనాలు ఉన్నందున, దీనిని సిలికాన్ పాలిషింగ్ యంత్రం, ఎపిటాక్సియల్/ఆక్సీకరణ/వ్యాపన ఉష్ణ చికిత్స పరికరాలు, లిథోగ్రఫీ యంత్రం, డిపోజిషన్ పరికరాలు, సెమీకండక్టర్ ఎచింగ్ పరికరాలు, అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ యంత్రం వంటి ఇతర పరికరాలలో భాగంగా ఉపయోగించవచ్చు. అందువల్ల, ఖచ్చితత్వ సిరామిక్ భాగాల పరిశోధన, అభివృద్ధి మరియు ఉత్పత్తి సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ అభివృద్ధిని నేరుగా ప్రభావితం చేస్తున్నాయి. వాటి తయారీకి అవసరమైన సాంకేతిక అవసరాలు అంతకంతకూ పెరుగుతున్నాయి.

అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా, 99.7%-99.9% అల్యూమినా.
అధిక యాంత్రిక బలం, అధిక అరుగుదల నిరోధకత, అధిక విద్యుత్ ఇన్సులేషన్, అధిక రసాయన స్థిరత్వం, మంచి ఉష్ణ నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత. ప్రస్తుతం, సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ వేఫర్‌ను గ్రైండ్ చేయడానికి సిరామిక్ గ్రైండింగ్ డిస్క్‌ను ఉపయోగించడం అత్యంత శ్రేష్ఠమైన మరియు అత్యాధునిక గ్రైండింగ్ పద్ధతి. కత్తిరించిన సిలికాన్ వేఫర్‌ను గ్రైండ్ చేయడానికి రెండు వైపులా గ్రైండింగ్ ప్రక్రియను ఉపయోగిస్తారు, మరియు గ్రైండింగ్ ప్రక్రియను (డిస్క్ మెటీరియల్, గ్రైండింగ్ ఫ్లూయిడ్, గ్రైండింగ్ ప్రెజర్ మరియు గ్రైండింగ్ స్పీడ్ మొదలైనవి) మెరుగుపరచడం ద్వారా గ్రైండింగ్ వేఫర్ నాణ్యతను పెంచుతారు. ముఖ్యంగా, కాస్ట్ ఐరన్ ప్లేట్లకు బదులుగా సిరామిక్ ప్లేట్లను ఉపయోగించడం వల్ల, గ్రైండింగ్ కారణంగా వేఫర్ యొక్క ప్రధాన ఉపరితలంపై ఏర్పడే గీతలు లేదా కాలుష్యాన్ని నివారించవచ్చు, లోహ అయాన్ల ప్రవేశాన్ని తగ్గించవచ్చు, సిలికాన్ యొక్క తదుపరి ప్రాసెసింగ్‌ను తగ్గించవచ్చు, తదుపరి ప్రక్రియ (తుప్పు) సమయాన్ని తగ్గించవచ్చు, ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచవచ్చు మరియు సిలికాన్ ప్రాసెసింగ్ నష్టాన్ని తగ్గించి, సిలికాన్ వినియోగాన్ని గణనీయంగా పెంచవచ్చు.

అధిక అల్యూమినా వేఫర్ పాలిషింగ్ ప్లేట్సెమీకండక్టర్, పెట్రోలియం, రసాయన, ఫోటోవోల్టాయిక్, లిక్విడ్ క్రిస్టల్ మరియు ఇతర పరిశ్రమలలో యాంత్రిక భాగాలు, ఎలక్ట్రానిక్ భాగాలు, మైక్రోవేవ్ ఇండక్షన్ డిస్క్, ఇన్సులేషన్ పదార్థాలు మరియు ఇతర భాగాలు, సెమీకండక్టర్ పరికరాలు, వాక్యూమ్ పరికరాలు, లిక్విడ్ క్రిస్టల్ తయారీ పరికరాలు మరియు ఇతర భాగాలలో దీనిని ఉపయోగిస్తారు. పెద్ద పరిమాణం మరియు అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా సిరామిక్స్‌కు నీలమణి (సఫైర్) పరిశ్రమ మరియు సెమీకండక్టర్ చిప్ పరిశ్రమలో ముఖ్యమైన అనువర్తన విలువ ఉంది. ఇది నీలమణి మరియు సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ వేఫర్‌ల యొక్క కెమికల్ మెకానికల్ పాలిషింగ్ (CMP) కోసం ఒక కీలకమైన ఆధారం మరియు వినియోగ వస్తువు. పెద్ద పరిమాణం మరియు అధిక స్వచ్ఛత గల అల్యూమినా సిరామిక్స్‌ను LCD కోసం అల్యూమినా సబ్‌స్ట్రేట్‌గా కూడా ఉపయోగించవచ్చు.